・使用100%聚丙烯(polypropylen)、PES(Polyethersulfone)及PTFE材质,适用于纯水及大部分化学品的制程过滤。
・高流量、低压差、绝对孔径过滤、使用寿命长。
・制作滤心时采热融方式接合,不需使用黏着剂,不会有任何添加物释出。
・过滤精密度依材质可选择0.1um 到 20um 绝对精度。
・适用于第7、第8代大型液晶厂基板清洗、蚀刻及高精密度过滤制程之应用。
・适用于Filtrafine CSV 及 TFT-334 等滤心式滤壳。
・制造环境为Class 1,000等级之无尘洁净室。